電子廠凈化車間等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外電子廠凈化車間對(duì)靜電要求嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠凈化車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒服。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子廠凈化車間的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

電子凈化車間裝修的注意事項(xiàng)：

一、凈化原理

氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化車間目的。

二、物流

1．工廠裝修物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

2．潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。

三、人流

1．人員凈化

2．工廠裝修潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室。

3．空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

4．空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施。

5．單人空氣吹淋室，應(yīng)按較大班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門。

四、靜壓差

1．不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa。

2．工廠裝修潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa。

3．潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

五、凈化參數(shù)：

1．壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s。

2．濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

3．換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。

4．溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。

六、結(jié)構(gòu)材料：

1．地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪。

2．送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

3．工廠裝修凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。

4．送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。